Когда линейные размеры изнашиваемой поверхности меньше трассы движения алмазной иглы, износ можно наблюдать по однократно снимаемой осциллограмме. Если поверхность износа обширная, то на нее до начала опыта наносят базовую царапину и записывают профилограмму. После опыта снимают повторную профилограмму и накладывают ее на профилограмму неизношенной поверхности, совмещая дно царапины.

Современные технологии позволяют контролировать профиль поверхности без контакта, используя конфокальные датчики (микроскопы), позволяющие регистрировать микронеровности с помощью фотоматриц (CCD линеек).

Износ может быть измерен инструментальным или более компактным отсчетным микроскопом с использованием метода искусственных баз. На поверхности детали по радиусу алмазным резцом (например, прибором УПОИ-6) нарезают лунку длиной 1-2 мм и глубиной 0,02-0,08 мм.

Длину лунки можно измерить отсчетным микроскопом типаМПБ-2, который накладывается на контролируемую деталь. Размер определяется визуально по сетке на окуляре.

Зная длину лунки Х до и после эксперимента, по геометрическим формулам можно рассчитать величину износа. При расчетах следует учитывать форму поверхности — она может быть плоской, выпуклой или вогнутой с некоторым радиусом. Точность измерения ее износа по этому методу достигает 0,0008 мм.

Если форма детали не позволяет использовать инструментальный (отсчетный) микроскоп для прямого замера длины лунки (например, лунка нарезается в цилиндре двигателя), то следует использовать метод слепков. Слепки лунок можно сделать пластмассой (например, Стеракрил-6, используемой в стоматологии).

Контроль размера слепка лунки проводится обычным способом с помощью отсчетного или инструментального микроскопа.