Конструкция таких датчиков при кажущейся простоте требует совершенной технологии микроэлектронного профиля и учета целого ряда физических, конструктивных и технологических особенностей.

Датчик предназначен для измерения абсолютного давления в диапазоне 0...105 кПа. Он имеет выходной сигнал постоянного тока при линейности в пределах всего диапазона измерения ± 1,0 %. Воспроизводимость и гистерезис показаний датчика не превышают ± 0,15 % максимального значения выходного сигнала.

Микроэлектронное исполнение датчиков давления позволяет сравнительно просто осуществить температурную компенсацию измерений. При этом необходимо различать температурный дрейф нуля и температурную нестабильность измерений в пределах диапазона работы датчика. Величина температурного дрейфа нуля приблизительно составляет-2-10-4 К и представляет собой температурную погрешность измерений в нулевой точке шкалы. Температурная нестабильность измерений, как правило, равна -2-10-3 К в пределах диапазона работы датчика. Компенсация обеих погрешностей может быть осуществлена пассивным или активным способом. Пассивная компенсация заключается в подборе шунтирующих резисторов или терморезистора R„ включенных в измерительную схему.

Активная компенсация  температурной нестабильности более совершенна и осуществляется с помощью операционных усилителей. Например, два операционных усилителя ОУ1 и ОУ2 в неинвертирующем включении позволяют почти полностью устранить температурную погрешность. Коэффициент усиления ОУ1 управляется датчиком температуры Rt. Усилитель ОУ4 позволяет производить установку нулевой точки.

Описанные способы температурной компенсации измерений позволяют уменьшить температурную чувствительность интегральных полупроводниковых датчиков давления до незначительной величины, практически не влияющей на результаты измерений. Температурный коэффициент чувствительности датчика давления IPT незначителен и составляет всего 1,25-10—* К-1.

В конце 80-х гг. фирма „Бош” (Bosch) приступила к выпуску интегрального датчика абсолютного давления для систем управления двигателем. Датчик имеет рабочую камеру сферической формы, образованную слоями кремния и порошкового материала. В стенках рабочей камеры расположены полупроводниковые чувствительные элементы, связанные с электронной схемой обработки сигнала, которая размещена на той же плате, что и датчик.

Рассмотренная эволюция датчиков давления наглядно показывает тенденцию, присущую всем автомобильным датчикам, - переход функционирования с макроуровня (механических перемещений) на микроуровень (молекулярного движения). Это обеспечивает повышение надежности, точности и чувствительности при резком уменьшении габаритных размеров и энергопотреблении датчиков.